top of page
Silicon Single Crystal Ingot
반도체 제조 공정 중 Dry Etching은 가장 중요한 공정중 하나입니다. 건식공정은 크게 Oxide Etcher, Poly Etcher, Metal Etcher가 있습니다. 이중 Oxide Etcher에는 단결정 또는 다결정 실리콘소재로 만든 소모성 부품(Cathode & Ring)이 많이 사용됩니다.
우리는 이것을 만들기 위한 단결정 잉곳 (Single Crystal Ingot)을 공급하고 있습니다.
Resistivity | Outer Diameter | Product type |
|---|---|---|
• High Res. 60 ~ 90 Ohm,cm | • Standard 285 ~ 385mm | • Ingot |
• Middle Res. 1~5 Ohm,cm | • Large 400 ~ 475mm | • Ring / Plate |
• Low Res. < 0.02 Ohm,cm | • Super large > 500mm | • Cylinder |
Poly Si
폴리실리콘(Poly Si)은 반도체용 웨이퍼 또는 실리콘 부품제조에 필요한 실리콘 단결정 잉곳을 성장하는 원재료이다. 폴리 실리콘은 크게 태양광용과 반도체용으로 구분된다. 우리는 반도체용 등급을 국내 시장에 공급하고 있다.
Grade | Donor (ppta) | Acceptor (ppta) | Carbon (ppma) | Total Bulk Metal | Total Bulk Metal |
|---|---|---|---|---|---|
Semi & Si Parts
| < 150 | < 50 | < 0.080 | < 1,500 | < 1,500 |
Solar | < 300 | < 100 | < 0.100 | < 1,500 | < 1,500 |
Size Number | #1 | #2 | #3 | #4 | #5 |
|---|---|---|---|---|---|
Size / mm | 2 ~ 6 | 6 ~ 45 | 45 ~ 100 | 30 ~ 100 | 30 ~ 100 |
앵커 1
앵커 2
bottom of page